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地點 ：
電機二館129室
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儀器負責人：
R426 黎中立
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使用條件 ：
1. 經測試許可後使用
2. 經老師同意後使用
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儀器功能 ：
利用電子透鏡將電子束聚焦，至直徑約2nm，而進行器案之曝寫，使線寬達到10nm之等級，並以3D之掃描式電子顯微鏡作為檢視工具。