5
150
150
20
1e-6
1e-6
1e-6
1e-8
300
5e5
5e5
5e5
5e5
1e5
5e5
SI
131
2329
700
POLY
25.06
7544
2326
ACTIVE
131
2329
700
M1
17.6
2699
901.3 
M2
17.6
2699
901.3 
M3
17.6
2699
901.3
M4
17.6
2699
901.3
M5
315.82
8954.5
383.6
M6
315.82
8954.5
383.6
M7
315.82
8954.5
383.6
SI
10
10
15
4
x 5 Tx5.m
y 4 Ty4.m
z 15 Tz15.m